Application of transmission electron detection to SCALPEL mask metrology

R. C. Farrow, M. T. Postek, W. J. Keery, S. N. Jones, J. R. Lowney, M. Blakey, L. A. Fetter, J. E. Griffith, J. A. Liddle, L. C. Hopkins, H. A. Huggins, M. Peabody, A. Novembre

Research output: Contribution to journal › Article › peer-review